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    3. 產品詳情
      所在位置: 首頁> 產品目錄> 培育鉆石>
      • 產品名稱:CVD培育鉆石設備

      • 產品型號:CY-MPCVD
      • 產品廠商:成越科儀
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      CVD培育鉆石是一種由直徑10到30納米鉆石晶體合成的多結晶鉆石,它的化學成分為碳,運用先進的設備模擬大自然中鉆石生長環境,通過化學氣象沉積技術(CVD)栽種而成
      詳情介紹:

      CVD培育鉆石是一種由直徑10到30納米鉆石晶體合成的多結晶鉆石,它的化學成分為碳,運用先進的設備模擬大自然中鉆石生長環境,通過化學氣象沉積技術(CVD)栽種而成.

      MPCVD單晶金剛石沉積設備

      適合的應用:

      化學氣相沉積法制備高品質單晶金剛石

      化學氣相沉積法制備高品質多晶金剛石自支撐厚膜

      化學氣相沉積法制備高品質多晶金剛石薄膜

      化學氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和金剛石膜等各種碳納米薄膜

      產品特點:

       

      本產品為不銹鋼腔體式6kw微波等離子體設備,功率密度高;

      水冷式基片臺和水冷式金屬反映腔,保證系統能長時間穩定工作;

      基片溫度以微波等離子體自加熱方式達到;

      真空測量儀表采用全量程真空計,可**測量本底真空和工作氣體壓強;

      真空泵及閥門采用渦輪分子泵(極限真空為1×10-5Pa)和旋片式機械真空泵(極限真空為1Pa),系統可自動控制沉積氣壓;

      配備冷卻水循環系統,確保裝置高功率下可長時間安全穩定運行;

      系統帶15寸觸摸屏,PLC自動控制,可設置溫度或氣壓恒定,可保存復用多達20套工藝文件;

      全自動工藝控制模塊,可以穩定可靠地制備高品質金剛石薄膜和晶體

      技術指標與特性:

      微波系統(法國Sairem 微波源)

      微波頻率

      2450±25MHz

      輸出功率

      0.6kw~6kw 連續可調

      微波調諧

      三銷釘調配器,模式轉換天線

      微波反射保護

      環形器,水負載

      微波工作模式

      TM013

      微波泄漏

      2 mw/cm2

      真空系統

      工作氣壓范圍

      10~250Torr

      自動穩壓范圍

      40~250Torr

      真空泵

      4.4L/s 旋片式真空泵

      系統漏率

      <1.0x10-9 Pa?m3 / (通過氦質譜檢漏儀檢測)

      腔體保壓能力

      24 小時壓升小于0.2

      本底極限真空

      0.1Pa7.5 x10-4 Torr)

      真空測量

      品牌薄膜規

      真空反應腔

      反應腔材料及結構

      雙層水冷不銹鋼反應腔

      真空密封

      金屬密封+氟膠圈密封(取樣門)

      反應腔內徑

      直徑140mm

      樣品臺窗口

      105x50mm 長方形端口,帶O 形氟橡膠圈密封的前門

      觀察窗口

      兩個端口,CF35 大口徑,180°分布

      測溫窗口

      兩個窗口水平角度25~30°,180°分布;窗口方便從反應腔上部的

      斜角向下檢測樣品臺的溫度

      樣品臺

      電動升降式水冷基片臺

      直徑100mm,高度可調范圍070mm

      鉬基片臺直徑50mm,在5000w, 180Torr 工作狀態,等離子體火球可覆蓋

      整個基片臺

      基片臺溫度 2501400℃(取決于工藝參數)

      氣路

      選用日本進口流量計及流量控制閥

      系統自帶四路MFC

      四路MFC *大流速:H2: 1000sccm,CH4100sccm,O220sccm,N22sccm

      測溫系統

      德國Raytek 紅外測溫系統,測溫范圍:300~1300 攝氏度

      系統軟件

      配置PLC 控制的15“觸摸顯示屏,用戶操作界面友好,所有操作均可在觸摸

      屏上完成

      系統支持工程師和操作員兩個用戶級別,提供用戶權限管理功能

      系統自帶缺水,缺氣,電源缺相,火球跳變,過溫過載,打火等自動保護

      可設置多達10 套工藝配方,每套配方有40 行數據,生產流程通過工藝配方自

      動控制,工藝數據可通過U 盤備份導出

      系統自帶全自動抽氣,點火,升溫,降溫等預設流程,用戶操作簡便

      全自動溫度控制,氣壓控制,極大減輕系統操作員的工作量



      豫公網安備 41019702002438號

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