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    3. 產品詳情
      • 產品名稱:實驗室多弧離子鍍鍍膜儀

      • 產品型號:CY-MIOP500S-2TA
      • 產品廠商:成越科儀
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      實驗室多弧離子鍍鍍膜儀是利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上,實驗室多弧離子鍍鍍膜儀十分適合鍍硬質保護膜如TiN等
      詳情介紹:

      CY-MIOP500S-2TA多弧離子鍍鍍膜儀

      多弧離子鍍是利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來,不僅能明顯地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜的應用范圍。其具有蒸鍍速率快,薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣泛等優點。十分適合鍍硬質保護膜如TiN等。同時由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色,且膜層與基板結合牢固,故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜。

      設計特色

      本設備配有兩個多弧靶,分置于腔體兩側。配合行星式樣品臺可有效的提高鍍膜效率,改善成效果,該鍍膜儀還采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實現了水電分離,有力的保證了用戶的安全。 


      產品型號

      CY-MIOP500S-2TA

      真空腔體

      水冷不銹鋼腔體

      φ500mm X 490mm(H)

      前開門式,配有φ100mm石英觀察窗

      內置兩組紅外加熱燈,可對腔體烘烤除氣

      預留多個CF接口,可安裝多路膜厚儀

      進氣系統

      質量流量計Ar氣0~200sccm,

      N2氣0~200sccm其他流量或者氣體可定制

      供電要求

      AC 220V 50Hz  10kW

      控制方式

      15英寸觸控屏 組態控制軟件

      多弧靶

      數量規格

      3英寸x2

      安裝方式

      腔體側方對置

      工作電流

      0~150A

      靶材厚度

      max50mm,min20mm

      樣品

      規格

      行星式掛架

      可懸掛樣品數

      每支掛架上6個掛點,共計6個掛架

      轉速

      公轉轉速1~20rpm

      真空系統

       

      產品型號

      CY-GZK103-A

      分子泵

      渦輪分子泵

      前極泵

      雙極旋片泵

      抽氣速率

      分子泵:600L/S

      綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa

      旋片泵:1.1L/S

      極限真空

      5×10E-4Pa

      抽氣接口

      KF40

      排氣接口

      KF16

      真空測量

      復合真空計

       

      豫公網安備 41019702002438號

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