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    3. 產品詳情
      • 產品名稱:等離子濺射蒸發二合一鍍膜儀

      • 產品型號:
      • 產品廠商:成越科儀
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      CY-EVS180G-LV二合一鍍膜儀,可用于電子產品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實驗室SEM(掃描電鏡)的樣品制備。 設備主要由石英真空室、等離子濺射靶,蒸發鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺,真空泵機組、真空測量規管,進氣系統和控制系統組成。 設備主機采用觸摸顯示屏操作,溫控表檢測。其數字化參數界面和自動化操作方式為用戶提供了優良的研發平臺。真空室采用上中下結構,樣品臺與靶的距離靈活可調。 設備真空獲得系統采用上等雙極旋片泵。 具有體積小,噪音小,無油污污染等優點。 真空腔體采用石英加工而成,呈現圓柱結構,外形美觀,大方。主要密封法蘭采用 KF 系列高真空密封法蘭。真空腔體各接口均采用橡膠密封圈密封,真空性能優良,能有效鍍膜質量。
      詳情介紹:

      樣品臺

      φ80mm

      至蒸發源間距

      20mm~50mm可調

      φ80mm

      直流濺射頭

      數量

      2” x1

       

       

      蒸發系統

      蒸發源

      鎢絲籃

      *高溫度

      1700

       

      熱電偶

      S型熱電偶

       

       

      真空腔體

      腔體尺寸

      φ180mm X 150mm

      觀察窗口

      全向透明

       

      腔體材料

      高純石英

      開啟方式

      頂蓋拆卸式

      真空系統

      機械泵

      GHD-031B

      抽氣接口

      KF16

       

      真空測量

      電阻規

      排氣接口

      KF16

       

      極限真空

      10E-1Pa

      供電電源

      AC;220V 50/60Hz

       

      抽氣速率

      旋片泵:4L/S

      濺射電源配置

      數量

      直流電源 x1

      *大輸出功率

      150w

       

      其他

      供電電壓

      AC220V,50Hz

      整機尺寸

      500 X 350 X 400mm

       

      整機功率

      1.5kw

      整機重量

      15kg

      豫公網安備 41019702002438號

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